节 硅基微纳光机电系统技术(MOEMS/NOEMS) 一、硅基微光机电系统(MOEMS ) 二、硅基纳米光机电系统(NOEMS ) 三、关键硅基光电子器件 第四节 集成光电子器件微纳加工工艺 第五节 硅基微纳光电子器件的应用及..
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硅基纳米光机电系统
Silicon-based nano-opto-electromechanical system
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