4）流化床（FBR）反应器和 石墨管状炉 （Tube-Recator）反应器，生成粒状多晶矽的矽原料可以用矽烷、二氯二氢矽或是三氯氢矽。5）在2005年前多晶矽扩产中100%都采用改良西门子工艺。
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石墨管状炉
Graphite tubular furnace
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