真空系统包括工艺真空（Process Vacuum ）、 真空吸尘 （ Hose Vacuum ）或者清扫用 4.CDA:压缩空气系统 5.PCW:制程冷却水系统 以上系统的维护管理
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真空系统包括工艺真空
The vacuum system includes process vacuum
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