真空热蒸镀法(Vacuum Thermal Evaporation)是应用金属或金属氧化物作为反应源，来沉积各种金属氧化物薄膜。技术关键在于沉积速率、衬底温度、村底与坩埚的距离和氧气分压。
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真空热蒸镀法
Vacuum thermal evaporation method
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