相互相移掩模技术(Alternating Phase Shift Masks) 增强型应变硅技术从材料学方面改善了65nm 处理器的电气特性,而相互相移掩模技术则从 制造流程方面使65nm工艺更为成熟可靠。
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相互相移掩模技术
Phase-shifting mask technology
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