...第一修正，以消除该会发生该光学接近效应之处的光学接近效应； 以及 依据一预定的直线末端紧缩效应(line end shortening effect)的 检测条件来检测经该第一修正后的该光罩图案以找出会发生该直线末端 紧缩效应之处，并于符合该条件之处进行一第二修正，以消除...
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直线末端紧缩效应
The compression effect at the end of a straight line
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