equivalent oxide thickness
利用高介电系数介电层，可以使得物理厚度为原来二氧化矽 的数倍，却拥有相同的等效氧化层厚度（Equivalent Oxide Thickness， EOT），所以能使直接穿透闸极的漏电流变小并且维持一定的驱动电 流。
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...用高介电系数介电层，可以使得物理厚度为原来二氧化矽 的数倍，却拥有相同的等效氧化层厚度（Equivalent Oxide Thickness， EOT），所以能使直接穿透闸极的漏电流变小并且维持一定的驱动电 流。
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