研究了深亚微米pMOS器件的热载流子注入(hot-carrier injection,HCI)和负偏压温度不稳定效应(negative bias temperature instability,...
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的热载流子注入
The injection of hot carriers
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本文通过衬底热载流子注入技术，研究了热载流子增强的超薄栅氧化层TDDB效应。
Hot-carrier enhanced TDDB effect of ultra-thin gate oxide is investigated by using substrate hot-carrier injection technique.
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