...务平台 光机电系统（Micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS）技术的光栅平动式光调制器（Grating moving light modulator,GMLM）,提出一种无须外加测量结构,直接利用GMLM本身结构特性得到残余应力的测量方法。
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的光栅平动式光调制器
The grating translational optical modulator
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