...射则是应用于具较粗糙表面的工作表面,在感测器选择上则是 使用 CCD 作为光接收元件的位置感测元件(position sensitive detector, PSD) 图一(a)散射式表面 图一(b)镜射式表面 图二(a)散射式位移计设计 图二(b)镜射式位移计设计...
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的位置感测元件
The position sensing element
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