...要信息 关键词 ： MEMS；电磁驱动微器件；失稳特性；磁动势控制 [gap=912]Keywords : MEMS;electromagnetic micro-device;instability;Magnetmotive force(MMF)-controlled model ..
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电磁驱动微器件
Electromagnetic drive microdevices
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在对电磁驱动微器件进行分类的基础上，详细分析了磁动势控制模型中不同类型电磁微器件的失稳特性。
Based on the classification of the electromagnetic actuated micro-devices, the instabilities of different kinds of electromagnetic micro-devices were analyzed under MMF-controlled models.
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