Guardian 共沉积控制系统由电子碰撞发射光谱 (EIES) 提供强力支持,适合于控制 CIGS 光伏装置、MBE、OLED 和超导薄膜等应用中的多种材料同时共沉积过程。
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电子碰撞发射光谱
Electron collision emission spectrum
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