提出了一种新型的邻近效应,在电子束诱导沉积(EBID)。邻近效应是众所周知的,在抗蚀剂的电子束光刻(EBL),在那里他们提出自己作为一个额外的和无意的曝光的抗蚀剂层的照射区域周围...
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电子束诱导沉积(electron beam induced deposition)
electron beam induced deposition
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