SiO2薄膜的可见光与红外波段光学常数的色散特性 相关：薄膜 离子束溅射 电子束蒸发 离子束溅射（IBS）与电子束蒸发（EBE）是常用的SiO2薄膜制备方法。
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电子束反应蒸发(Electron Beam Reactive Evaporation) EBRE
电子束蒸发(electron beam evaporation)
electron beam evaporation
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