... 的微细加工领域，如光刻胶-湿化学刻蚀法(Wet etching)、反应离子刻蚀刻蚀法 (RIE)、聚焦离子束刻蚀法(FIB)、电子束直写法(EBDW)、纳米压印法(NIL)、Sol-gel 直接感光法(Direct Patterning)等，可实现微器件的尺寸达到微米数量级，但是这 些加工技术只能满足精...
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电子束直写法
Electron beam direct writing method
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