65nm产品失效分析方法及良率的提升 - docin.com豆丁网 接 面漏电（JunctionLeakage）在受到电子束激发后可以转化成电流或电压的讯号 被侦测到，这即是所谓的电子束激发的电流（Electron BeamInducedCurrent， EBIC）或电子束激发的电压（ElectronBeamInduced Voltage，EBIV）分析法， 目前
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的电子束激发的电流 Electron Beam Induced Current
电子束激发的电流
The current excited by an electron beam
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