65nm产品失效分析方法及良率的提升 - docin.com豆丁网 ，这即是所谓的电子束激发的电流（Electron BeamInducedCurrent， EBIC）或电子束激发的电压（ElectronBeamInduced Voltage，EBIV）分析法， 目前被大量的作为组件故障分析时寻找故障点的利器。 目前新一代集成电路接触和互联的替代材料的
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或电子束激发的电压 Electron Beam Induced Voltage
电子束激发的电压
The voltage excited by the electron beam
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