电子束微影(E-beam lithography)虽已经用以生产原型组件，但要达到大量生产仍有难以突破的障碍。
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electron beam lithography
（4）电子束微影（Electron beam lithography） 这部分主要介绍Ying Xu等人的论文【231。他们利用电子束显影法（Electron-beam lithography，EBL）在硅基底上制备二维光子晶体。
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短语
电子束微影系统
E-Beam Lithography System
电子束微影技术
e-beam lithography
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Electron Beam Projection Lithography
投射式电子束微影术
Electron Beam Projection Lithography
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EPL