电子束反应蒸发(electron beam reactive evaporation)
...括脉冲激光 沉积(PLD),分子束外延(MBE),金属有机物化学气 相沉积(MOCVD),射频/直流溅射(RF/DC Sputtering),电子束反应蒸发(EBRE),喷雾热分解
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电子束反应蒸发(electron beam reactive evaporation)
electron beam reactive evaporation (evaporation)
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