即运用电子所形成的探测针细电子束作为X射线的激发源来进行显微X射线光谱分析基本原理是电子束经过电子光学系统如静电或电磁透镜聚焦到样品中约1平方微米的区域样品经电子束的轰击辐射出X射线通过X射线谱仪对待测元素X射线谱的波长和强度进行测量逐点地定性和定量分析通过电子扫描同步系统和电子显示可使样品中各种组成的分布情况以放大的图像直接显示于荧光屏上因此电子探针X射线显微分析仪是矿物研究工作中既能微观观察又能同时分析微区成分的精密仪器
即运用电子所形成的探测针细电子束作为X射线的激发源来进行显微X射线光谱分析基本原理是电子束经过电子光学系统如静电或电磁透镜聚焦到样品中约1平方微米的区域样品经电子束的轰击辐射出X射线通过X射线谱仪对待测元素X射线谱的波长和强度进行测量逐点地定性和定量分析通过电子扫描同步系统和电子显示可使样品中各种组成的分布情况以放大的图像直接显示于荧光屏上因此电子探针X射线显微分析仪是矿物研究工作中既能微观观察又能同时分析微区成分的精密仪器
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