电子探针x射线微区分析
Electron probe X-ray micro-area analysis
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电子探针X射线微区分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦极细的电子束轰击固体的表面,并根据微区内所发射出X射线的波长( 或能量)和强度进行定性和定量分析的方法。
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