废 中文名称： 电子工业用气体 高纯氨 英文名称： Gases for electronic industry --High purity ammonia 标准组织： 【GB】中国国家标准 正文语种： 中文 国标分类： 【G86】工业气体与化学气体 原版 基于6个网页
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电子工业用气体
Gases for the electronics industry
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综述了我国电子工业用气体的现状与改进方向。
Reviewed the present situation and point out the way forward for the electronic gases in our country.
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