(5)由半导体制造技术协会(SEMATECH,Semiconduc-tor Manufacturing Technology)发表了SEMATECH/SEMI CIM平台标准。
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(5)由半导体制造技术协会(SEMATECH,Semiconduc-torManufacturingTechnology)发表了SEMATECH/SEMICIM平台标准。
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由半导体制造技术协会
By the Semiconductor Manufacturing Technology Association
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