...期刊网络出版总库 erhard nanocomposites; TiN/Si_3N_4 films; 【摘要】 采用离子束辅助沉积法(Ion beam assisted deposition,IBAD)在单晶硅片上进行沉积制备了TiN／Si3N4 纳米复合超硬薄膜;研究了辅助束流、轰击能量和Ti:Si..
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采用离子束辅助沉积法 Ion beam assisted deposition ; IBAD
用离子束辅助沉积方法 Ion beam assisted deposition
用离子束辅助沉积法
Ion beam-assisted deposition method
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