...gt; 内容 申请公开说明书(17页) English version 前言： 本发明揭示一种利用现场蒸气产生技术(in-suit steam generation，ISSG)以降低硅及氧化硅区域中的氮浓度，且提供可预期的氧化硅厚度。
基于4个网页-相关网页
用现场蒸气产生技术
Use on-site steam generation technology
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动