本文利用射频磁控溅射法（radio-frequency magnetron sputtering，RFMS），在石英表面上制备了f轴择优取向的纳 米ZnO薄膜。
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用射频磁控溅射法
By radio frequency magnetron sputtering method
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用射频磁控溅射法在阳极氧化铝模板表面制备了金属铝膜。
Metal aluminum films were deposited on AAO templates by radio-frequency magnetron sputtering.
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