...还尝试了以十二烷基硫酸钠(sodium dodecyl sulfate, SDS)作为表面活性剂,用四甲基氢氧化铵(tetramethylammonium hydroxide, TMAH)/异丙醇(TMAH/IPA)作为腐蚀剂代替传统的NaOH/IPA腐蚀剂制备单晶硅绒面。
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...文 文还尝试了以十二烷基硫酸钠(sodium dodecyl sulfate, SDS)作为表面活性剂,用四甲基氢氧化铵(tetramethylammonium hydroxide, TMAH)/异丙醇(TMAH/IPA)作为腐蚀剂代替传统的NaOH/IPA腐蚀剂制备单晶硅绒面。
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通常用四甲基氢氧化铵 tetramethylammonium hydroxide ; TMAH
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