2.1.3实验参数 实验采用十甲基环五硅氧烷(DMCPS)([Si(CD3)20]5,>98%)作为反应源 来制备SiCOD低介电常数薄膜,DMCPS是一种具有环形分子结构的有机硅化合 物,无色、无味、无毒,粘度...
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十甲基环五硅氧烷 Decamethylcyclopentasiloxane
环五聚二甲基硅氧烷 Cyclopentasiloxane
环五硅氧烷
Cyclopentasiloxane
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