...六个步骤：(1)光罩的设计及制作，(2)样 品清洁，(3)光微影制程(Photolithography process)，(4)热蒸镀金属材料(Metal deposition)，(5)光阻剥离(left-off)，(6)样品元件接线。 (1).
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热蒸镀金属材料
Hot-steam plated metal materials
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