...】： 该文通过控制氧化工艺条件，利用相应条件下样品的等温表面电位衰减测量、热刺激放电（ThermallyStimulatedDiseliarge，TSD）电流谱及电容-电压分析技术（C-VPlotter）等，研究了SiO2驻极体薄膜的内部结构和能阱分布，...
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热刺激放电电流 TSDC
热刺激放电
Thermal stimulation discharge
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