...高频)法、RF（射频）CVD、MWECR-CVD（微波电 子回旋共振化学气相沉积）、热丝化学汽相沉积(hot wire chemical vapor deposition，HWCVD)等，与传统 的RFCVD相比，MWECR-CVD是一种较新的薄膜制 备和等离子体表面处理技术，它具有...
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热丝化学汽相沉积
Hot wire chemical vapor deposition
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本工作利用透射电镜对电子束增强热丝化学汽相沉积金刚石薄膜的微观结构及生长方式进行了研究。
Microstructure and growth mode of diamond films by electron assisted CVD method have been studied by means of transmission electron microscopy.
youdao
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