通过对图像瞄准系统中的畸变分析，提出以激光长度测量值作为长度基准的成像系统在线自标定方法。
In this paper the distortion of image collimating system is analyzed, and then an on-line self-calibration method with double-frequency laser length measuring result as length datum is presented.
许多激光测量设备有显示最小和最大尺寸的设定；操作者必须只能沿着边缘点扫描。在测量对角线长度的时候这一点非常有用；
Many laser measuring devices have setting which shows minimum and maximum dimensions; the operator must merely scan the dot along an edge. This is helpful for taking diagonal measurements.
分析了激光干涉系统的原理，给出了长度测量的计算公式。
The principle of Laser Interferometer and its formula for length measuring are discussed in this paper.
激光长度测量(laser length measure) 利用激光精密测量长度。将激光和迈克尔逊干涉仪相结合，可得到激光干涉测长仪。测量时，干涉仪的一臂不动，另一臂从被测长度的起点移动到终点，记录下相应干涉条纹变化的数目，就可以计算出长度值。由于激光的单色性，即相干性很好，可精密测量的长度非常长，可达几十米至几百米。并且激光的波长较短，测量的精度非常高，可达0.1微米。目前激光测长仪已被广泛用来进行各种精密长度测量，例如长度基准-米尺的精确测量，中国利用激光测长仪进行测量，误差小于O.2微米，达到了国际水平。在大规模集成电路生产中，要求制作的误差小于1微米。用普通机械精密丝杆定位，误差为4~5微米，不能满足要求。激光测长仪的精度较高，将激光测长仪的传动装置改装成快动和微动相结合的运动系统，就构成一台激光微定位仪，可以满足超大规模集成电路的生产要求。
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