2.2.5 激光诱导气相法(Laser Induced CVD) 以激光为快速加热热源,使气相反应物分子内部快速地吸收和传递能量,在 瞬时完成气相反应的成核、长大。
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激光诱导气相沉积法 LICVD
激光诱导气相法
Laser-induced gas phase method
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激光诱导气相沉积法是制备纳米氮化硅粉末的主要方法之一。
Laser induced chemical vapor deposition is the main method among the methods of fabricating nano Si3N4.
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