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激光固相反应沉积
Laser solid phase reaction deposition
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这些应用大致涵盖激光掺杂、激光退火、激光沉积薄膜、激光引发固相反应和激光光刻等几方面。
They include laser doping, laser annealing, laser depositing film, solid-phase reaction induced by laser and laser photolithograph.
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