...文中,利用带有原位反射式高能电予衍射仪(Reflection High Energy Electron Diffraction--RHEED)的激光分子束外延系统(LMBE)对LNO薄 膜的生长过程进行了研究。另外,采用脉沈激光沉积法(P王。
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激光分子束外延系统
Laser molecular beam epitaxy system
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