Rolith公司采用了名为滚动掩模光刻(RML(TM))的专利毫微光刻技术,以制造用于大型基材的透明金属线网格电极。RML基于近场连续光学光刻,使用圆柱相掩模进行操作。
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滚动掩模光刻
Rolling mask lithography
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