另一种 捕捉式帮浦 为离子帮浦 (ion pump)，又名“ 溅式离子帮浦 ”( sputter ion pump ) 或“ 聚杂帮浦 ”( getter pump )，如图21。离子帮浦的作用原理和离子植入.
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溅式离子帮浦
Splash ion pump
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