9-5 溅击蚀刻(Sputter Etching) 将惰性的气体分子如氩气施以电压，利用衍生的二次电子将气体分子解離或激发成各种不同 的粒子，包括分子、原子团(Radical)，电子...
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...on Etch, RIE RIE mode) ~~ RF RF power Vacuum Pump 气体入口 电极板 方法之效果比较 •• 溅击蚀刻 溅击蚀刻(Sputtering Etch) - 非等向性极佳(薄膜经蚀刻后的断面轮廓，十分接近 90°)，但选择性较差。
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