...p型透明氧化物半导体薄膜 李喜峰 王颖华 李桂锋 张群 黄丽 章壮健 【摘要】： 渠道火花烧蚀法(Channel Spark Ablation,CSA)是利用脉冲电子束轰击烧蚀靶材以制备薄膜的方法。
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渠道火花烧蚀方法 Channel Spark Ablation
渠道火花烧蚀法
Channel spark ablation method
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