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混合物理化学气相法

网络释义

  HPCVD

... 双温区混合物理化学气相法制备MgB2超导薄膜技术 本文介绍了一种薄膜基底与镁源蒸发放置在不同温区的混合物理化学气相法HPCVD)制备MgB2超导薄膜的技术.以B2Hs为硼源,在(0001)取向的Al2O3单晶基底上在不同的基底温度下制备了MgB.e超导薄膜.采用扫描电子...

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混合物理化学气相法

Mixed physicochemical vapor phase method

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