...程专辑 urface Technology Systems plc，STS)近日宣布计划建设适合于300mm直径晶圆的深度反应离子蚀刻(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)系统。 三大系列全速出击，GE车载传感器产品震撼登场！
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...辑 urface Technology Systems plc，STS)近日宣布计划建设适合于300mm直径晶圆的深度反应离子蚀刻(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)系统。 三大系列全速出击，GE车载传感器产品震撼登场！
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深度反应离子刻蚀 Deep Reactive Ion Etch
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