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液相磊晶成长法

网络释义

  Liquid Phase Epitaxy

... 多层不 同厚度之多元材料的单晶薄膜,如 AlGaAs、AlGaInP、InGaN 等结构,常用的技 术有液相磊晶成长法(Liquid Phase Epitaxy,LPE)及有机金属气相磊晶法(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy,MOVPE...

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  LPE

...层不 同厚度之多元材料的单晶薄膜,如 AlGaAs、AlGaInP、InGaN 等结构,常用的技 术有液相磊晶成长法(Liquid Phase Epitaxy,LPE)及有机金属气相磊晶法(Metal Organic Vapor Phase Epitaxy,MOVPE...

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有道翻译

液相磊晶成长法

Liquid-phase epitaxial growth method

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