...RAM厂制程转换从50奈米和40奈米世代技术，NAND Flash厂也转换至30奈米和20奈米世代，同样都需要浸润式微显影(Immersion Scanner)机器设备，同时晶圆代工也同样需要此款机器设备，造成浸润式微显影机台有交货不及的状况产生。
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浸润式微显影
Immersion microdevelopment
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