*1 浸入式光刻 (Immersion Lithography)浸入式光刻技术是指在光刻装置的镜头和硅片之间充满如超纯水等液体，利用液体的屈光效果来提高硅晶片图形分辨率的技术。
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浸入式光刻技术 Immersion Lithography ; immersion lithography technology
浸入式光刻
Immersion lithography
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