...m豆丁网 on，IAD），离子束溅射沉积（Ion-BeamSputter De．position，IBSD），活化反应蒸发（Activated Reac-tive Evaporation，ARE），离子镀（／on Plating，III），射频溅射（RFSputtering，RFS）t35’36..
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活化反应蒸发
Activation reaction evaporation
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