SIMOX wafer bonding technology
薄膜厚埋层 SOI材料的新制备技术3 关键词 : 薄膜厚埋层 SOI 材料; 注氧键合技术; 剖面透射电镜 [gap=8304]Key words : thin film/ thick BOX SOI; SIMOX wafer bonding technology; XTEM
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