损伤,目前已有新的划片技术相继问世:先划片后减薄(dicingbeforegrinding,DBG)法和减薄划片法(dicingbythinning,DBT)5,即在硅片背面减薄之前,先用磨削或腐蚀方式在正面切割出切口,实现减薄后芯片的自动分离。
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损伤,目前已有新的划片技术相继问世:先划片后减薄(dicingbeforegrinding,DBG)法和减薄划片法(dicingbythinning,DBT)5,即在硅片背面减薄之前,先用磨削或腐蚀方式在正面切割出切口,实现减薄后芯片的自动分离。
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