42 和被检查物( 基板20) 形成的角度β 设为利用了沙伊姆弗勒(Scheimpflug) 的原理的 角度。
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沙伊姆弗勒条件 Scheimpflug condition
沙伊姆弗勒前提 Scheimpflug action
沙伊姆弗勒
Shaim Fowler
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