探讨采用射频磁共溅射氮硅锆(ZrSiN)涂层作为扩散阻挡层(钛与瓷间的中间层),增强钛/瓷结合强度的可行性.
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氮化锆硅 ZrSiN
氮硅锆
Silico-zirconium nitride
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