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氮化钛铝硅 TiAlSiN
氮化硅钛 TISIN
氮化硅铝钛 TiAlSiN
氮化钛硅
Silicon titanium nitride
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这些膜使用三层导电材料，氮化钛制成，中间隔着硅土绝缘层。
These membranes are made of three layers of a conducting material, titanium nitride, separated by insulating layers of silica.
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